华海清科获得发明专利授权：“一种化学机械抛光方法”

图片来源于网络，如有侵权，请联系删除

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光方法”，专利申请号为CN202211570612.5，授权日为2026年5月19日。

专利摘要：本发明公开了一种化学机械抛光方法，其包括：抛光组件配置的第一承载头自装卸台装载晶圆并移动至抛光盘，以对晶圆实施化学机械抛光；在第一承载头朝向抛光盘移动的过程中，晶圆传输机械手将下一片晶圆放置于装卸台；抛光组件配置的第二承载头移动至装卸台并装载晶圆；保湿机构的输液件与第二承载头上侧的防护件连接，并朝向防护件输送流体，以在防护件的下方形成水帘；第一承载头完成抛光后，输液件停止供液并与防护件分离，装载有晶圆的第二承载头移动至抛光盘，以对晶圆实施化学机械抛光。

今年以来华海清科新获得专利授权33个，较去年同期减少了10.81%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目262次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息809条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

相关 ETF